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產品名稱	電漿去光阻機PA01/ PA03B
公司	馗鼎奈米科技股份有限公司廠商會員 - 第 17 年
營業型態	製造商/代工廠, 公司/行號
地址	710台南市永康區中正路279巷21弄59號
聯絡人	梁雅娟
電話	6-2323927
傳真	6-2013306
電子郵件	skycat@creating-nanotech.com
網址	www.creating-nanotech.com

(上圖可點選放大)

電漿去光阻機PA01/PA03B

產品功能
快速去除晶圓上之殘留光阻，達到晶圓表面潔淨，蝕刻率同業最高

產品特色
處理均勻性佳
離子能量低、不損傷基板
沒有電極及基板的污染
專利設計之特殊電漿電極
高密度電漿源
電漿效率高、清潔效率高
可控制低的離子能量
結合化學反應性及物理撞擊性
處理速度快、清潔效率高、可靠度高
操作範圍廣
可使用多種製程氣體
設備穩定高，容易維護
可依客戶需求作更改

應用產業
殘餘光阻去除
PSS來料清潔製程