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產品名稱| name:
| 奈米光罩自動對位模組 本系統應用於奈米光罩貼合設備，搭配光罩貼合於玻璃、晶圓 (Wafer)等需高精度定位之元件，影像對位系統提供光罩初定位，並於完成影像定位與自動對焦，透過影像兩點間偏移演算計算光罩定位偏移角度，並將補償值設置於玻璃二次定位，以利光罩與玻璃進行精密貼合作業。 |
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| 奈米光罩自動對位模組 本系統應用於奈米光罩貼合設備，搭配光罩貼合於玻璃、晶圓 (Wafer)等需高精度定位之元件，影像對位系統提供光罩初定位，並於完成影像定位與自動對焦，透過影像兩點間偏移演算計算光罩定位偏移角度，並將補償值設置於玻璃二次定位，以利光罩與玻璃進行精密貼合作業。 |