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產品名稱| name:
抗電漿表面處理
產品編號| number:
P2016122000005
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抗電漿表面處理奈米矽表面處理產品DCSG系列奈米矽塗層,主要成份是以奈米SiO2,Y2O3為主成份的溶凝膠,為完全無機組成的奈米結合劑,塗料成品具有抗電漿擊穿、高硬度、隔熱性、耐酸性、耐候性、耐熱溫度約800℃以上,適用於各種電漿蝕刻製程,產品均符合ROHS測試規範。
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