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產品名稱
奈米光罩自動對位模組
公司
鼎宸科技股份有限公司
廠商會員 - 第 5 年
營業型態
公司/行號
地址
710台南市永康區龍埔街462號
聯絡人
戴嘉輝
電話
6-2335332
傳真
6-2043558
電子郵件
kevintai@dctek.com.tw
網址
dctek.com.tw
(上圖可點選放大)
奈米光罩自動對位模組
本系統應用於奈米光罩貼合設備,搭配光罩貼合於玻璃、晶圓 (Wafer)等需高精度定位之元件,影像對位系統提供光罩初定位,並於完成影像定位與自動對焦,透過影像兩點間偏移演算計算光罩定位偏移角度,並將補償值設置於玻璃二次定位,以利光罩與玻璃進行精密貼合作業。
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