流量 ： 50mL/min~50L/min

FLC4000 是針對微小~中流量領域精密流量控制所開發之純水 & 藥液精密流量控制器。

本体由 flow sensor ,精密控制閥及控制電路所組成,可進行高速流量控制,精確的瞬間流量顯示,可輸出信號給半導體設備,並且可使用類比訊號輸入改變製程流量設定值 。

提供半導體生產設備藥液&純水精準之流量供給管
由設備之氣動 pump 或 tank 加壓所送出藥液或純水可經由FLC 4000 進行高精密及穩定的流量控制,確保製程參數的穩定度及減少DI-water 的浪費。

藥液濃度調液管理 :
半導體生產設備中多種藥液或純水希釋,可經由FLC 4000 進行高精密及穩定的流量控制,達到所要求的濃度管理。

豐富的內建流量值輸出訊號功能 可進行即時監視,以減少 wafer 報廢的產生