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產品名稱
藥液純水用流量計 FLC4000 系列
公司
香岳實業股份有限公司
廠商會員 - 第 18 年
營業型態
公司/行號
地址
350苗栗縣竹南鎮竹南鎮建國路348號
聯絡人
范周閔
電話
037-551155
傳真
037-551122
電子郵件
stephenfun@kogaku.com.tw
網址
my.so-net.net.tw/kogaku
(上圖可點選放大)
流量 : 50mL/min~50L/min
FLC4000 是針對微小~中流量領域精密流量控制所開發之純水 & 藥液精密流量控制器。
本体由 flow sensor ,精密控制閥及控制電路所組成,可進行高速流量控制,精確的瞬間流量顯示,可輸出信號給半導體設備,並且可使用類比訊號輸入改變製程流量設定值 。
提供半導體生產設備藥液&純水精準之流量供給管
由設備之氣動 pump 或 tank 加壓所送出藥液或純水可經由FLC 4000 進行高精密及穩定的流量控制,確保製程參數的穩定度及減少DI-water 的浪費。
藥液濃度調液管理 :
半導體生產設備中多種藥液或純水希釋,可經由FLC 4000 進行高精密及穩定的流量控制,達到所要求的濃度管理。
豐富的內建流量值輸出訊號功能 可進行即時監視,以減少 wafer 報廢的產生
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