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產品功能
.符合電漿特性的電氣規格
.具備定功率，定電壓，定電流
.內建電弧保護功能
.內建過電壓，過電流，過熱，過載等保護功能
.可用於單雙火線的電漿系統
.PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)
產品特色
.數位控制系統
.設定範圍廣
.高電漿密度
.可客製化洽詢
應用產業
.真空鍍膜製程之清洗處理
.電漿輔助化學沉積製程
.電漿輔助濺鍍製程
.符合電漿特性的電氣規格
.具備定功率，定電壓，定電流
.內建電弧保護功能
.內建過電壓，過電流，過熱，過載等保護功能
.可用於單雙火線的電漿系統
.PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)
產品特色
.數位控制系統
.設定範圍廣
.高電漿密度
.可客製化洽詢
應用產業
.真空鍍膜製程之清洗處理
.電漿輔助化學沉積製程
.電漿輔助濺鍍製程
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