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電漿輔助化學氣相沉積系統PECVD
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產品名稱 電漿輔助化學氣相沉積系統PECVD
公司 馗鼎奈米科技股份有限公司廠商會員 - 第 17 年
營業型態 製造商/代工廠, 公司/行號
地址 710台南市永康區中正路279巷21弄59號
聯絡人 梁雅娟
電話 6-2323927
傳真 6-2013306
電子郵件 skycat@creating-nanotech.com
網址 www.creating-nanotech.com
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電漿輔助化學氣相沉積系統PECVD
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產品特色
大面積均勻性
高鍍膜速率
低溫真空鍍膜
可通入多組氣體
易操作及易維護
可以客戶做修改
可搭配制電漿光譜分析儀做製程電漿監控及控制

應用產業
半導體產業
太陽能產業
LED產業
光電產業
鍍膜製程
學術研究