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產品功能
適用於太陽能電池製程，對矽晶片之邊緣做蝕刻
產品特色
專利設計之特殊電漿電極
高密度電漿源
處理速度快、產能高、可靠度高
可選擇的指令引數多
設備穩定度高，容易維護
全自動且容易操作
可依客戶需求作更改
應用產業
太陽能電池
太陽能矽晶片邊緣做蝕刻
適用於太陽能電池製程，對矽晶片之邊緣做蝕刻
產品特色
專利設計之特殊電漿電極
高密度電漿源
處理速度快、產能高、可靠度高
可選擇的指令引數多
設備穩定度高，容易維護
全自動且容易操作
可依客戶需求作更改
應用產業
太陽能電池
太陽能矽晶片邊緣做蝕刻
