產品功能
各式材料之表面清潔、活化或改質
提升元件封裝、黏著或印刷之可靠度
操作簡單，可調整電漿功率、處理距離、清潔速度及氣體種類等
可清潔物品材質: 玻璃、塑膠、金屬、陶瓷、橡膠等
增加黏著或附著性

產品特色
多項專利設計
清潔效能優異、處理速度快
多種噴頭選擇，清潔範圍 3~30mm
可使用氣體：N2、CDA(Air)、O2等氣體
不需暖機，可隨時啟動及停止
可in-line或off-line操作
無污染
操作成本低
無靜電殘留
無arc
體積小，容易安裝及維護
可依據客戶需求作修改

應用產業
STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB製程前的ITO電極表面清潔
COF (ILB) 或COB製程的電極表面清潔
LCD或OLED的玻璃清潔
IC封裝(Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.)或LED封裝的表面清潔或改質
PCB之表面清潔、活化、改質或去殘膠
晶圓之表面清潔或去光阻
工業電子元件之表面清潔、活化或改質
印刷或黏著前之表面粗化或清潔
鍍膜、去光阻及蝕刻